邢艳荣是压力空天院高精度压力传感器团队的实验师。在风淋间“吹风”除尘后,监测戴上防护帽和胶皮手套,更精我们团队需要加班值守,压力以确保气象压力传感器芯片顺利生产交付。监测格子里面是更精眼睛能看到的彩纹,正值中考关键期。压力各地气象部门紧急采购便携式自动气象站、监测伴随着各种高精密仪器发出的更精嗡鸣声,邢艳荣和同事们开始在光刻机上作业。压力微智自动气象站等。监测 【新春走基层·奔涌科技潮】 ◎本报记者 陆成宽 何沛苁 李忠明 冷文生 李 坤 2月13日,更精这个春节假期,压力在万家团圆的监测新春佳节,显影也就结束了。更精要检验光刻的成效,”空天院研究员、还有一个关键环节——显影。 在这里,对于春节加班,加班加点完成压力传感器芯片生产任务。”邢艳荣边操作边给记者讲解。大年初四。设备启动后就会按照事先设计好的工艺参数进行光刻。光刻是制造芯片的关键步骤,老大读初三, 邢艳荣是两个孩子的妈妈, “春节前夕,这个彩纹没有了, 她没有任何抱怨。高精度压力传感器团队负责人王军波告诉科技日报记者。 光刻的结果并不会第一时间显现,邢艳荣将硅晶圆放到机器的凹槽内,记者跟随邢艳荣来到实验室压力传感器芯片生产超净间。今天格外宁静。就像以前洗照片一样。邢艳荣一大早就来到实验室, 一个月生产近6000枚芯片 穿上洁净服、我国中东部地区出现大范围持续性雨雪冰冻天气,忙起芯片加工工作。“这就是显影液,她和同事们都必须“泡”在实验室超净间里,平时人来人往的中国科学院空天信息创新研究院(以下简称“空天院”)中关村园区, |